Хотите первыми получать новости с сайта NanoPlatform.by? Это очень просто. Подпишитесь на 
Объединённая конференция "Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике"
13.09.2021 - 17.09.2021
г. Черноголовка, Московская обл., Россия
Организаторы:
ФГБУН Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН),
Акционерное общество "Научно-исследовательский институт молекулярной электроники" АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград.
Научная программа конференции предусматривает следующие секции:
1. Диагностика полупроводниковых материалов и структур.
2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ.
3. Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография.
4. Электронно-лучевая и ионная литографии.
5. Электронно-лучевые технологии в микроэлектронике.
6. Рентгеновская кристаллооптика.
7. Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона.
8. Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур.
9. Рентгеновская микроскопия и томография.
10. Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении.