15-я Международная конференция «Микро- и наноэлектроника – 2023» (ICMNE-2023) c расширенной сессией "Квантовая информатика" (QI-2023)
02.10.2023 - 06.10.2023
Звенигород, Московская область, Россия
Организаторы и спонсоры:
Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт»,
Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН,
ООО ТехноИнфо,
Компания НИКС,
SPIE – The International Society for Optical Engineering
Журнал «Микроэлектроника»
Тематика:
Физика микро- и наноразмерных приборов
Технология и характеризация материалов для микро- и наноэлектроники
Технологические процессы и перспективное технологическое оборудование микро- и наноэлектроники
Метрология
Квантовая информатика