2-й Международный форум по электронно-лучевым технологиям для микроэлектроники - "Техноюнити - ЭЛТМ 2017"
09.10.2017 - 12.10.2017
РОССИЯ, Москва, Зеленоград,
Организаторы:
ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ НАУКИ,
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) - организатор,
"ТЕХНО ЮНИТИ" Зеленоградский инновационный кластер,
КАЗЕННОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ г. Москвы "Корпорация развития Зеленограда" (КП "КРЗ") - соорганизатор,
АО "НИИМЭ" - соорганизатор.
Научные направления:
1. Электронная и ионная литографии, наноструктурирование поверхности.
2. Микросистемная техника. Сенсоры.
3. Характеризация материалов и структур методами электронной микроскопии.
4. Характеризация материалов и структур методами рентгеновской микроскопии.
5. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовая нанолитография и спектроскопия.
6. Электронно-лучевые технологии: электронно-лучевая сварка,
электронно-лучевая плавка, электронно-лучевая полировка поверхности.
7. Новые материалы для микроэлектроники и медицины.
В рамках Форума будет организована Инвест-площадка с участием представителей Росатома, Ростеха, Иннопрактики, Росэлектроники.
На площадках Форума будут представлены крупнейшие производители оборудования для микроэлектроники, проведены научно-практические мастер-классы для студентов и молодых ученых, организованы круглые столы для обсуждения иновационных проектов.
Окончание принятия тезисов on-line для участников семинаров - 1 сентября 2017 г.