Конференция с международным участием "Электронно-лучевые технологии" - КЭЛТ- 2019
30.09.2019 - 03.10.2019
Черноголовка, Россия
Организаторы:
Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН
АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград.
Секции:
Секция 1. Характеризация полупроводниковых материалов и структур.
Секция 2. Характеризация материалов и структур методами ПЭМ.
Секция 3. Характеризация материалов и структур методами РЭМ.
Секция 4. Сканирующая зондовая микроскопия, зондовая нанолитография и спектроскопия.
Секции 5. Электронная и ионная литография.
Секции 6. Электронно - лучевые технологии: создание микро- и наноструктур, 3D печать,
электронно-лучевая сварка, электронно-лучевая плавка.
Секция 7. Новые материалы для микроэлектроники.
Секция 8. Характеризация материалов и структур методами рентгеновской микроскопии.