02.02.2026 – 04.02.2026 

Новосибирск, Россия

 

 

Организаторы

 

Институт неорганической химии им. А.В. Николаева СО РАН

Научный совет РАН по неорганической химии

 

В программу семинара включены следующие темы:

 

1. Фундаментальные основы процессов CVD (химия газовой фазы и поверхности, механизмы реакций, кинетика, моделирование, взаимосвязь структуры и свойств).

 

2. Новые исходные вещества для процессов CVD: синтез, очистка и характеризация.

 

3. Новые направления в развитии технологии газофазных процессов (активированные процессы CVD, ALD, гибридные технологии, процессы селективного осаждения и др.).

 

4. Новые материалы, сложные структуры, гибридные и многофункциональные системы, полученные в процессах CVD (однородные и градиентные пленки, напряженные слои, структуры различной архитектуры: нанотрубы, нанонити, нанокомпозиты, наночастицы, квантовые точки и т.д.).

 

5. Диагностика пленок и покрытий, контроль процессов CVD (контроль процессов превращения компонентов газовой фазы, состояние образующихся фаз, функциональные характеристики слоев и структур, стабильность пленок).

 

6. CVD: путь от лаборатории к промышленной технологии.

 

7. Тонкие пленки и наноструктуры, полученные методом PVD: рост, характеризация, моделирование.

 

8. Применение процессов CVD, ALD и PVD (микро, нано- и оптоэлектроника, химические сенсоры, катализ, производство энергии, оптические и защитные покрытия и др.).

 

Сборник тезисов

 

Подробно