Хотите первыми получать новости с сайта NanoPlatform.by? Это очень просто. Подпишитесь на 
Вторая объединённая конференция «Электронно-лучевые технологии и рентгеновская оптика в микроэлектронике»
13.11.2023 – 16.11.2023
Черноголовка, Московская обл., Россия
Организаторы
ФГБУН ИПТМ РАН г. Черноголовка
АО "НИИМЭ" г. Москва, Зеленоград
Научная программа конференции предусматривает следующие секции:
Диагностика полупроводниковых материалов и структур
Характеризация материалов и структур методами ПЭМ и РЭМ
Сканирующая зондовая микроскопия и зондовая нанолитография
Электронно- лучевая и ионная литографии
Электронно- лучевые технологии в микроэлектронике
Рентгеновская кристаллооптика
Многослойная оптика для рентгеновского и экстремального ультрафиолетового диапазона
Применение рентгеновской оптики для исследования микро- и наноструктур
Рентгеновская микроскопия и томография
Новые методы исследования микро- и наноструктур с использованием синхротронных и лабораторных источников рентгеновского излучении
13.09.2021 - 17.09.2021